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五化是一種由砷和氟元素形成的無機化合物，化學式為AsF5，其中砷元素的氧化態為+5。它是一種有毒的無色氣體，可用于離子移植和某些六氟砷酸鹽的合成。高純度的五氟化砷可通過氟化三氧化二砷制得，也可用于微電子學工業中的砷離子注入劑。根據世界衛生組織國際癌癥研究機構的致癌物清單，砷和無機砷化合物被列為1類致癌物。
基本概況
arsenic pentafluoride
分子式：??AsF5
性質：無色氣體。密度7.71g/cm3。熔點80℃。沸點53℃。液體密度2.33g/ml(-52.8℃)。溶于冷水，溶于堿、醇、醚、苯。當與石墨反應時，生成AsF5-石墨中間化合物，其導電率較高。由氟與三氟化砷或砷反應制得。作氟化劑用在離子移植中。可用于某些六氟砷酸鹽的合成。高純品用三氧化二砷直接氟化可制得，在微電子學工業中用作砷離子注入劑。
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