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片狀氧化鋁
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片狀氧化鋁所屬現(xiàn)代詞,指的是一種基本上無(wú)團(tuán)粒、粉末或碎片的新型片狀氧化鋁。

片狀氧化鋁

發(fā)

明人

塞爾斯R·錫伯特;愛(ài)特華L·格拉文;Jr.

地址

美國(guó)馬省

概述

本發(fā)明提供一種基本上無(wú)團(tuán)粒、粉末或碎片的新型片狀氧化鋁。本產(chǎn)品證實(shí)對(duì)用在微電子學(xué)應(yīng)用方面的基片的拋光非常有利,同時(shí)也揭示了制備這類產(chǎn)品的方法。

要害點(diǎn)

一種片狀氧化鋁粉,其特征在于主要由具有直徑為3至20微米的個(gè)別正面體片狀氧化鋁顆粒組成,它基本上沒(méi)有團(tuán)粒和細(xì)粒且所含片狀氧化鋁顆粒的片斷小于5%。

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參考資料 >

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